浙江欣芯微機(jī)電制造有限公司成立于2021年10月20日，公司定位于國內(nèi)高端MEMS芯片本土自主生產(chǎn)這一空白領(lǐng)域，為高端MEMS傳感器、執(zhí)行器等提供制造工藝解決方案及規(guī)模化生產(chǎn)平臺(tái)。 公司一期建成年產(chǎn)1萬片6英寸高端MEMS晶圓制造項(xiàng)目，固定資產(chǎn)投資約3.5億元，用地33.5畝，建筑面積約3.6萬平方米。廠房十級(jí)、百級(jí)潔凈區(qū)近2000平，千級(jí)以上潔凈區(qū)達(dá)4000平，設(shè)置了光刻、干法刻蝕、濕法腐蝕、鍵合和結(jié)構(gòu)釋放等主要工藝板塊，設(shè)備自動(dòng)化程度高，在高端MEMS芯片制造廠房中屬國際先進(jìn)水平。加工工藝面向加速度計(jì)、陀螺儀、地震檢波器等高精度傳感器芯片，主要應(yīng)用于航空航天、汽車電子、工業(yè)控制、生物醫(yī)療、5G通信等領(lǐng)域，市場(chǎng)前景廣闊。